| 是否进口：否 | 加工定制：否 | 品牌：纳克 |
| 型号： FE-1050 |
电子枪 | 物镜类型 | 加速电压 | 束斑电流 | 至 30nA（100nA 选配） | |
10x - 1,000, 000x | |||||
SE | BSE( 2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV) | ||||
0.8nm 2.真空系统 | |||||
25 L/s+2X20L/s | |||||
250 L/s (N2) | |||||
15m 电子枪真空 | 主样品室极限真空 | 样品室接口数 | 个 | ||
50mm 预抽室光学导航 | |||||
样品台行程 | 140mm | ||||
140mm | |||||
60mm | |||||
连续 360° | |||||
-10 重复定位精度 | ≤1um（选配） | ||||
5kg | |||||
最小驻留时间 | 采集方式 | 图像分辨率 | 像素 | ||
CPU | 内存 | 显卡 | 显示器 | 英寸超宽屏显示器 | |
人体工程学可升降操控台 | |||||
检测器 | 附件（选配） | 1.电子光学系统 | |||
Schottky 场发射型 | |||||
非浸没电磁复合透镜 | |||||
0.02-30KV | |||||
10pA 放大倍数 | 分辨率 | 1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV) | |||
| 选配) | STEM | （30KV） | |||
离子泵（IGP） | 涡轮分子泵（TMP） | 前级真空泵 | ?/h 机械泵、无油涡旋机械泵（选配） | ||
<1.0x10-7 Pa | |||||
<1.0x10-4 Pa | |||||
27 预抽室 | 样品托盘自动送样 4/6 英寸晶圆自动送样（选配） | ||||
3.样品运动平台 | |||||
X | Y | Z | R | T | °~80° |
X/Y/Z 样品承重 | 4.图像处理系统 | ||||
20ns | |||||
4 通道同步采集 | |||||
24kx24k 5.数据处理系统 | |||||
Intel Xeon E5 及以上处理器 | |||||
32G | |||||
显存≥24G，位宽≥384bit | |||||
34 控制台 | 6.探测器系统 | ||||
In-Column SE 探测器 | |||||
斜插式能谱仪（EDS） |
